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激光干涉仪

Line  Interferometrie

µLine® - 激光干涉仪测量系统

激光干涉仪测量系统的特点:

  • 激光干涉仪中内置补偿单元
  • 易编程的输入和输出端
  • 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信
  • 测量速度高达6m/s
  • 设计紧凑,便于携带 (携带箱尺寸:350 x 200 x 250mm)
  • 二维90°角度器 (精度:5µm/m)
  • 三维90°角度器 (精度:5µm/m – 同样适用于直线度激光测量系统)