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home    |    机床校准      激光干涉仪

应用

Einsatz des 3D-Prismas

激光干涉仪的概述

当今激光干涉仪的定位精度是1nm （理论上）。
由于极佳的分辨率和精确度，使用激光干涉仪能高精准地测量微小距离的变化。
除了定位测量以外，激光干涉仪还能适用于以下的测量:

  • 直线度测量 （3D）
  • 角度测量
  • 动态测量 （速度和加速度）
  • 平面度测量
  • 振动测量高至1000Hz

 

pdf 宣传册
pdf 使用说明书
pdf 产品规格
pdf µLine 10套装
pdf µLine 20套装
pdf µLine 30套装
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µLine® - 激光干涉仪测量系统

激光干涉仪测量系统的特点:

  • 激光干涉仪中内置补偿单元
  • 易编程的输入和输出端
  • 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信
  • 测量速度高达6m/s
  • 设计紧凑，便于携带 （携带箱尺寸：350 x 200 x 250mm）
  • 二维90°角度器 （精度：5µm/m）
  • 三维90°角度器 （精度：5µm/m – 同样适用于直线度激光测量系统）

 

Line Laser




双频激光干涉仪

µLine拥有补偿均衡功能，因此测量不易受环境的影响。为工业使用而研发的µLine是一台双频且高精度的激光干涉仪。使用µLine不仅能够自动测量直线度而且还能进行定位测量。µLine的发射器与位置敏感接收器（PSD）为一体化的外形设计，其设计紧凑并且拥有独立的90°分光器，因此非常适用于对小型机器的测量。变暖的激光头完全不会影响测量的质量并且µLine的调试非常容易。

在几分钟内便能完成对µLine的调试！

可以通过手动，半自动或全自动的方式进行测量点的数据采集。友好的用户界面：实用美观。优秀的软件能自动生成G代码与补偿表，无需复杂的转换。除了普遍生成的格式，还为客户提供特定的控制变量进行使用，例如：Siemens，Fanuc和Haidenhain。
软件生成的测量报告和图表完全符合国际标准ISO230-2 、美国标准B5.54、德国机床标准VDI3441、日本工业标准JIS B6330、中国国家标准GB/T 17421-2000等标准的要求。


µLine的优势:

  • 精度高且不易受环境干扰
  • 可同时进行三维数据测量
  • 自动生成G代码与补偿表

µLine与其它同类产品相比而具有优势:

  • 传感器的无线通信
  • 双频激光干涉仪
  • 设计紧凑，便于携带，适用于小空间测量
  • 90°分光器适用于对小型机器的测量
  • 可同时进行三维数据测量
  • 简便及可视化的调试激光光束
  • 精准的软件调试激光光束，可避免角偏法测量带来的误差
  • 友好的用户界面：实用美观
  • 自动生成G代码与均衡表，无需复杂的转换
  • 优秀的三维测量基础套装


主要应用领域:

  • 数控机床（CNC）和空间测量机（CMM）的定位测量
  • 平面度测量
  • 平行轴的测量
  • 旋转精度测量
  • 振动测量
  • 直线度测量
  • 垂直度测量
  • 动态测量
  • 角度测量
  • 适用于实验室中各种高精度的应用
  • 测长机的测量
  • 机床的质量鉴定